图书介绍

微机电系统与微细加工技术2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

朱荻，云乃彰，汪炜等编著
出版社：哈尔滨：哈尔滨工程大学出版社
ISBN：9787811332384
出版时间：2008
标注页数：227页
文件大小：27MB
文件页数：236页
主题词：微电机－系统；特种加工－技术

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图书目录

1绪论1

微机电系统与微型化1

微型化的基础——微细制造4

2微机电系统组成原理及设计8

微机电系统的组成和工作原理8

微尺度理论基础37

计算机辅助设计57

习题74

3微细加工技术75

硅微细加工75

LIGA技术83

微细电火花加工92

微细电铸99

微细电解加工107

微细高能束流加工115

习题124

4微机电系统的检测125

MEMS器件的几何量测量125

力学性能测试140

习题153

5微机电系统的应用154

微机电系统的军事应用154

微机电系统在民用工业中的应用191

习题223

参考文献225