图书介绍

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抛光剂配方与生产
  • 李东光主编 著
  • 出版社: 北京:化学工业出版社
  • ISBN:9787122147776
  • 出版时间:2012
  • 标注页数:345页
  • 文件大小:73MB
  • 文件页数:356页
  • 主题词:研磨膏-配方;研磨膏-生产工艺

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图书目录

一、金属抛光剂1

H62黄铜抛光液1

K金首饰无氰电解抛光液1

SiSb基相变材料用化学机械抛光液2

ULSI铜表面高精密加工过程中化学机械抛光液4

不锈钢化学抛光液(1)5

不锈钢化学抛光液(2)6

不锈钢化学抛光液(3)7

不锈钢制品的化学抛光剂7

防潮型白抛光膏8

防冻型抛光液9

高纯度纳米金刚石抛光膏10

高纯度纳米金刚石抛光液12

高精度氧化铝抛光液14

高浓度Ti阻挡层表面化学机械抛光液14

高去除率、低损伤的铜化学机械抛光液16

含氢氟酸的铝型材酸性抛光剂17

核/壳型复合纳米磨料硅片抛光液18

核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液20

化学机械抛光液(1)21

化学机械抛光液(2)23

化学机械抛光液(3)24

化学机械抛光液(4)29

化学机械抛光液(5)30

化学机械抛光液(6)32

化学机械抛光液(7)33

化学机械抛光液(8)43

化学机械抛光液(9)44

化学机械抛光液(10)45

化学机械抛光液(11)47

化学机械抛光液(12)48

化学机械抛光液(13)49

化学机械抛光液(14)51

化学机械抛光液(15)52

化学机械抛光液(16)53

化学机械抛光液(17)56

化学机械抛光液(18)57

化学机械抛光液(19)59

化学机械抛光液(20)60

化学机械抛光液(21)61

化学机械抛光液(22)63

化学机械抛光液(23)65

化学机械抛光液(24)66

化学机械抛光液(25)70

化学机械抛光液(26)72

化学机械抛光液(27)73

化学机械抛光液(28)74

化学机械抛光液(29)76

化学机械抛光液(30)78

化学机械抛光液(31)81

化学机械抛光液(32)83

化学机械抛光液(33)84

化学机械抛光液(34)86

化学机械抛光液(35)89

化学机械抛光液(36)93

化学机械抛光液(37)98

化学机械抛光液(38)102

化学机械抛光液(39)103

化学机械抛光液(40)104

化学机械抛光液(41)105

化学机械抛光液(42)106

化学机械抛光液(43)107

化学机械抛光液(44)108

化学机械抛光液(45)109

化学机械抛光液(46)110

化学机械抛光液(47)111

化学机械抛光液(48)114

化学机械抛光液(49)116

化学机械抛光液(50)122

化学机械抛光液(51)126

化学机械抛光液(52)129

化学机械抛光液(53)131

化学机械抛光液(54)135

化学机械抛光液(55)136

化学机械抛光液(56)137

化学机械抛光液(57)139

化学机械抛光液(58)140

化学抛光剂142

黄色抛光膏143

碱性硅晶片抛光液143

降低铜化学机械抛光粗糙度的抛光液144

金属表面抛光膏146

石脑油金属抛光剂146

矿物油金属抛光剂146

水溶胶金属抛光液147

金属铜的抛光液(1)148

金属铜的抛光液(2)149

金属振动抛光液151

铝合金电解抛光液152

铝合金用抛光液154

铝和铝合金的化学抛光液155

铝及铝合金材料抛光液155

铝及铝合金的电化学抛光液157

铝制品化学抛光液158

与氏体高合金耐热钢金相检测抛光剂158

镁合金用抛光液159

镁铝合金材料表面化学机械抛光液160

纳米氧化铈复合磨粒抛光液162

浓酸抛光剂163

酸抛光液163

浅沟槽隔离抛光液165

取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液166

水基金刚石抛光液167

水基纳米金刚石抛光液168

钛及钛合金抛光液170

钛镍合金电化学抛光液173

钽化学机械抛光液174

铜抛光中用的纳米二氧化硅磨料抛光液174

铜制品抛光剂176

钨抛光液(1)176

钨抛光液(2)177

锌和铬加工用的纳米二氧化硅磨料抛光液178

医用NiTi形状记忆合金抛光液179

用于不锈钢镜面的抛光液180

用于化学机械研磨的抛光液181

用于钽阻挡抛光的化学机械的抛光液184

用于铜制程的化学机械抛光液(1)185

用于铜制程的化学机械抛光液(2)187

用于钨化学机械抛光的抛光液189

用于氧化钒化学机械抛光的纳米抛光液189

用于阻挡层抛光的化学机械抛光液191

有色金属材料表面清洁抛光膏195

阻挡层化学机械抛光液196

用于低碳钢纳米压入试样的抛光液200

二、半导体、集成电路等电子工业用抛光剂202

半导体晶片精密化学机械抛光剂202

半导体锑化铟化学机械抛光液202

超大规模集成电路多层铜布线化学机械全局平面化抛光液204

超大规模集成电路多层铜布线中铜与钽的化学机械全局平面化抛光液206

超大规模集成电路硅衬底的化学机械抛光液207

超大规模集成电路铝布线抛光液(1)208

超大规模集成电路铝布线抛光液(2)209

大尺寸硅片用化学机械抛光液211

低介电材料抛光液213

多晶硅化学机械抛光液(1)214

多晶硅化学机械抛光液(2)215

多晶硅抛光液218

高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光液220

高精度复合抛光液223

高精度抛光液223

硅单晶衬底材料抛光液224

含有混合磨料的低介电材料抛光液(1)226

含有混合磨料的低介电材料抛光液(2)227

化学机械抛光半导体晶片用的抛光液229

化学机械抛光单晶氧化镁基片用的抛光液230

极大规模集成电路多层布线中钨插塞的抛光液231

集成电路铜互连结构中铜的电化学机械抛光液232

碱性计算机硬盘抛光液233

降低硅片表面微划伤的抛光液234

介电层抛光液236

晶圆粗抛光液237

晶圆精抛光液238

具有特殊缓冲体系的硅片化学机械抛光液239

可循环使用的抛光液240

蓝宝石衬底材料CMP抛光液241

蓝宝石衬底抛光液(1)242

蓝宝石衬底抛光液(2)244

蓝宝石衬底加工专用抛光液245

高效高精度蓝宝石抛光液246

用于蓝宝石圆棒胶木轮的抛光膏246

微碱性蓝宝石抛光液247

纳米二氧化硅抛光剂248

抛光低介电材料的抛光液249

硬盘磁头的抛光液250

硬盘磷化铟基板CMP抛光液252

用于大规模集成电路多层布线中钨插塞的抛光液254

用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液256

用于多晶硅抛光的化学机械抛光液257

用于计算机硬盘基片化学机械抛光的抛光液258

用于抛光半导体封盖层的抛光液261

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液(1)261

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液(2)262

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液(3)263

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液(4)265

用于砷化镓晶片的抛光液266

用于硬盘NiP的电化学机械抛光的抛光液267

用于硬盘基片的抛光液268

用于锗晶片的抛光液268

有机碱腐蚀介质的稀土抛光液269

硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液271

硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液273

硫系相变材料化学机械抛光的无磨料抛光液275

纳米级抛光液278

锑化铟材料表面化学机械抛光液279

三、玻璃、陶瓷、晶体等无机材料用抛光剂281

铌酸锂晶体抛光液281

非水基磁流变抛光液282

电子玻璃的纳米SiO2磨料抛光液284

二氧化硅介质化学机械抛光液286

高效无划伤玻璃抛光液288

磷酸氧钛钾晶体CMP抛光液289

纳米二氧化硅磨料抛光液290

微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液(1)291

微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液(2)293

微晶玻璃抛光液294

硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液295

用于玻璃材料的抛光液296

用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液297

用于光学加工的水基磁流变抛光液298

用于介质材料平坦化的抛光液300

用于磷酸氧钛钾晶体的化学机械抛光液301

用于铌酸锂光学晶片研磨抛光的抛光液(1)303

用于铌酸锂光学晶片研磨抛光的抛光液(2)304

用于抛光低介电材料的化学机械抛光液306

用于抛光低介电材料的抛光液307

用于抛光低介电材料的抛光液311

用于硼酸锂铯晶体的化学机械无水抛光液312

用于软脆易潮解晶体的非水基无磨料抛光液314

用于微晶玻璃研磨抛光的抛光液314

四、其他抛光剂317

用于表面抛光为10级的宝石圆球的抛光液317

车用多功能一体化清洁抛光剂318

环保型汽车划痕抛光膏319

交联型环保汽车抛光剂320

混合抛光液321

不含氟的抛光剂321

除藻型抛光液322

低光泽抛光剂(1)324

低光泽抛光剂(2)326

活性抛光剂327

木质地板、家具护理用的抛光组合物329

木质油精地板、家具上光保护剂(1)330

木质油精地板、家具上光保护剂(2)331

地板保养上光剂332

抛光砖、石材、人造石翻新用抛光剂334

抛光砖专用化学抛光剂335

皮革、石材增光保护剂335

石板材上光蜡337

石材保护剂338

石材镜面效果抛光膏340

石材上光蜡341

新型抛光剂342

用于二氧化硅介质的抛光液343

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