图书介绍

TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

张辉军著著
出版社：哈尔滨：黑龙江大学出版社
ISBN：9787811296235
出版时间：2013
标注页数：137页
文件大小：16MB
文件页数：143页
主题词：传感器

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图书目录

第1章气体传感器研究概述1

1.1 半导体气体传感器简介2

1.2 宽禁带TiO2纳米半导体材料4

1.3 国内外TiO2气体传感器的研究进展20

1.4 研究的目的及意义29

第2章薄膜特性分析与Si/TiO2异质结构的能带34

2.1 TiO2的晶格结构34

2.2 氧传感器的薄膜敏感原理38

2.3 薄膜表面空间电场、有效空间电荷层厚度dx的相关计算（一维近似）39

2.4 Si和TiO2中载流子统计分布情况及能带结构43

2.5 Si/TiO2异质结构的能带图51

第3章 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器结构设计及传输机制62

3.1 氧传感器的基本结构62

3.2 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器制作工艺64

3.3 宽禁带半导体气体传感器电流传输特性与机制68

3.4 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器电流传输特性与机制71

第4章 TiO2纳米层壳结构薄膜的制备76

4.1 W-TiO2薄膜的制备与分析77

4.2 Pt-TiO2薄膜的制备与分析86

4.3 TiO2纳米球壳的制备与分析91

4.4 TiO2纳米层壳结构薄膜的TEM与SEM分析101

第5章氧传感器性能的测定与分析104

5.1 工作温度对基准电流的影响105

5.2 环境湿度对基准电流的影响106

5.3 输出曲线的测量108

5.4 选择性109

5.5 响应－恢复时间111

参考文献117

后记137