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第一章 干涉基础1

一、双光束干涉方程1

二、基本概念和定义2

三、获得干涉条纹的条件3

四、条纹可见度3

五、空间相干性4

六、偏振特性5

七、相对光强度6

八、分束器7

九、分光板和薄膜分光镜8

十、分光镜式衍射光栅8

第二章 干涉仪9

一、经典斐索干涉仪9

二、牛顿环11

三、泰曼-格林干涉仪12

四、补偿板12

五、反射/透射比13

六、基于PBS的泰曼-格林干涉仪13

七、斐索激光干涉仪14

八、马赫-曾德尔干涉仪16

九、光束检测16

十、横向剪切干涉仪（LSI）17

十一、旋转光栅LSI18

十二、径向剪切干涉仪19

第三章 干涉图像20

一、波面像差系数20

二、泽尼克多项式22

三、波面误差RMS值24

四、球差干涉图24

五、彗差干涉图25

六、干涉图——其他像差26

七、莫尔条纹27

八、莫尔和干涉图28

第四章 相移干涉30

一、直接相位测量30

二、相移方法31

三、连续相移32

四、液晶延迟器33

五、频移光源33

六、相移算法34

七、基本的相位解包裹35

八、步进相移和连续相移的比较35

九、PSI的误差36

十、量化误差37

十一、不正确的相移38

十二、避免振动39

十三、空间同步和傅里叶方法40

十四、空间载波干涉仪41

十五、毛玻璃散射器42

第五章 表面微观结构44

一、诺马斯基干涉显微镜44

二、等色序干涉条纹（FECO）45

三、相移干涉显微镜46

四、多波长干涉仪47

五、立式扫描技术48

第六章 平面检测50

一、反光镜50

二、窗口51

三、楔镜53

四、角锥立方棱镜54

第七章 曲面检测56

一、样板法56

二、泰曼-格林干涉仪检测曲面57

三、斐索激光干涉仪检测曲面58

四、检测透镜或者透镜系统59

五、沙克立方干涉仪60

六、散光板干涉仪61

七、相移散射板干涉仪62

八、长波干涉仪63

九、斯马特点衍射干涉仪64

十、相移点衍射干涉仪65

十一、索马格伦衍射干涉仪66

十二、曲面，立式白光扫描干涉仪（VSWLI）67

十三、柱形光学零件67

第八章 绝对测量68

一、平板68

二、球面69

第九章 非球面检测71

一、非球面71

二、非球面检测72

三、双曲面零检测73

四、奥夫纳零检测74

五、全息零光学检测75

六、计算全息基本原理76

七、计算全息设计指南77

八、非零检测78

九、反射光线跟踪79

十、尼奎斯特干涉仪80

十一、长波干涉仪81

附录83

一、非干涉检测83

二、傅科（刀口）检测84

三、线检测85

四、朗奇检验85

公式汇总87

参考文献93

索引97