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第1章 检测的一半概念1

1.1检漏技术的地位和应用1

1.2检漏技术的主要术语1

1.3压力与漏率关系3

1.3.1动态真空3

1.3.2静态真空3

1.4检漏的任务3

1.4.1真空抽不好的原因3

1.4.2不能保持压力的原因4

1.4.3检漏的任务4

1.5漏孔及其表示4

1.5.1焊缝及原材料的缺欠4

1.5.2常见漏孔的形式5

1.5.3漏孔出现位置及产生原因5

1.5.4漏孔大小的表示方法6

1.5.5影响漏孔漏率的因素7

1.5.6漏率的单位7

1.5.7漏孔对真空的影响10

1.6装置漏气的判定10

1.6.1真空装置漏气的判定10

1.6.2加压装置漏气的判定12

1.6.3检漏仪及其他方法13

1.7装置容许最大漏率估算13

1.7.1动态真空装置容许最大漏率14

1.7.2静态真空装置容许最大漏率15

1.7.3加压装置容许最大漏率16

1.7.4实际存在漏孔漏率分布16

1.8灵敏度与最小可检漏率17

1.8.1灵敏度17

1.8.2最小可检漏率17

1.8.3有效最小可检漏率17

1.9对检漏的一般要求18

1.10检漏方法的分类19

1.10.1加压检漏法19

1.10.2抽真空检漏法20

1.10.3其他方法20

1.11检漏方法、仪器和示漏物质选择原则21

1.12国产氦质谱检漏仪现状21

第2章 检测的真空基础23

2.1真空概念和测量单位23

2.1.1真空概念23

2.1.2真空度23

2.1.3真空区域划分23

2.2理想气体基本定律及状态方程25

2.2.1理想气体25

2.2.2波义耳定律25

2.2.3盖·吕萨克定律25

2.2.4查理定律26

2.2.5阿伏伽德罗定律26

2.2.6理想气体状态方程26

2.2.7道尔顿定律（分压力定律）27

2.3气体分子的平均自由程27

2.3.1平均自由程27

2.3.2单一气体分子的平均自由程27

2.4气体流量和管道流导28

2.4.1气体量28

2.4.2流量28

2.4.3流导29

2.4.4管道串联的流导29

2.4.5管道并联的流导29

2.5气体的流动状态29

2.5.1真空管道中的气体流动29

2.5.2漏孔中的气体流动30

2.6真空泵31

2.6.1油封式旋转机械真空泵31

2.6.2油扩散泵34

2.6.3涡轮分子泵36

2.7真空计38

2.7.1静态变形真空计38

2.7.2电阻真空计39

2.7.3热偶真空计41

2.7.4热阴极电离真空计43

2.7.5冷阴极磁控放电真空计（潘宁真空计）45

2.7.6分压力真空计47

第3章 常用的检测方法49

3.1静态升压法49

3.2静态降压法51

3.3气泡检漏法51

3.3.1气泡检漏法的原理51

3.3.2产生气泡的条件51

3.3.3产生压差的方法52

3.3.4打气试漏法及注意事项54

3.4高频火花检漏法55

3.4.1火花法56

3.4.2放电法56

3.5卤素检漏法57

3.5.1卤素检漏法原理及仪器结构57

3.5.2卤素检漏法注意事项59

3.6质谱仪检漏法60

3.7其他检漏方法60

3.7.1真空规法60

3.7.2离子泵检漏法69

3.7.3声波检漏法70

3.7.4氨检漏法70

3.7.5放射性同位素法76

3.7.6着色渗透法78

3.7.7荧光渗透法79

3.7.8正压漏率计算法79

第4章 标准漏孔及其他校准83

4.1真空标准漏孔83

4.1.1概述83

4.1.2真空标准漏孔的种类83

4.1.3真空标准漏孔的比较88

4.2正压标准漏孔89

4.3标准漏孔的校准及使用注意事项89

第5章 氦质谱检漏仪法93

5.1氦质谱检漏仪工作原理93

5.2仪器结构94

5.2.1质谱室94

5.2.2真空系统97

5.2.3电气部分98

5.2.4普通型氦质谱检漏仪（ZJS-23B）与逆扩散型氦质谱检漏仪（ZQJ-230D）的比较98

5.3示漏气体选择99

5.4最小可检漏率与校准100

5.4.1检漏仪的最小可检漏率101

5.4.2有效最小可检漏率101

5.4.3检漏仪的最小可检漏率校准方法101

5.4.4有效最小可检漏率的校准方法102

5.4.5注意事项103

5.5反应时间与清除时间及其校准104

5.6氦质谱检漏仪的选择106

5.7氦质谱检漏技术107

5.7.1氦质谱检漏方法107

5.7.2实际漏孔漏率123

5.7.3大容器检漏124

第6章 四级质谱计检漏法135

6.1四极质谱计的结构135

6.2四极质谱计的工作原理135

6.3四极质谱计的工作模式136

6.3.1模拟峰质量扫描136

6.3.2棒峰质量扫描136

6.4四极质谱计的性能指标137

6.4.1质量范围137

6.4.2分辨本领R137

6.4.3灵敏度S138

6.4.4最小可检分压力pmin139

6.4.5最高工作压力pmax139

6.4.6最小可检浓度140

6.5四极质谱计检漏方法140

6.5.1残气分析法140

6.5.2单一示漏气体检漏法140

6.5.3多种示漏气体检漏法140

6.6应用举例142

6.7质谱图的识别144

第7章 检漏实践和检漏安全149

7.1检漏实践149

7.1.1检漏实践的原则——在真空工作的各个阶段都要考虑检漏工作149

7.1.2检漏工作人员与检漏试验室（车间）151

7.1.3如何进行检漏152

7.2检漏安全153

7.2.1安全事项153

7.2.2安全防护154

7.2.3压力防护155

7.2.4安全装置156

7.2.5示漏气体的危害与安全性157

7.2.6监测设备的类型158

7.2.7安全规则158