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绪论1

第一章 光栅的基本方程式10

1-1 透射光栅方程式10

1-2 反射光栅方程式20

1-3 光栅方程式的电磁场理论推导28

第二章 光栅的几何光学理论35

2-1 光栅的工作原理35

2-2 色散39

2-3 分辨率41

2-4 级次重叠44

2-5 闪耀47

2-6 光栅效率52

2-7 谱线弯曲59

2-8 阶梯光栅69

2-9 凹面光栅79

第三章 光栅的物理光学理论92

3-1 电磁波的惠更斯原理93

3-2 成象问题的傅里叶变换公式98

3-3 光栅衍射的傅里叶变换101

3-4 光栅衍射图样光强度分布的数字解105

3-5 刻划误差和波面象差的关系108

3-6 基坯缺陷对衍射波面象差的影响110

3-7 周期刻划误差的影响112

3-8 多重周期误差的影响116

3-9 杂散光119

3-10 光栅各衍射级次的光能量分布122

3-11 正弦槽形光栅平面波衍射光能分布125

3-12 三角槽形光栅平面波衍射的光能分布136

3-13 光栅高集光效率的实际考虑144

3-14 软X射线光栅(掠入射式光栅)效率146

3-15 红外光栅的集光效率149

3-16 光栅的衍射反常154

第四章 刻划光栅和刻划机158

4-1 光栅的刻划过程158

4-2 光栅基坯的制备159

4-3 金刚石刻刀164

4-4 刻划机的环境要求172

4-5 光栅刻划机的主要部件179

4-6 机械式光栅刻划机193

4-7 莫尔条纹控制光栅刻划机205

4-8 干涉伺服控制光栅刻划机213

4-9 不等槽距凹面光棚的刻划241

第五章 全息光栅243

5-1 全息光栅的制造原理244

5-2 干涉条纹系统的精度245

5-3 光学系统250

5-4 激光器254

5-5 光致抗蚀剂257

5-6 平面全息光栅的制造261

5-7 平面全息光栅的性能284

5-8 凹面全息光栅296

5-9 X射线全息光栅308

5-10 全息光栅的展望310

6-1 激光光栅的效率、选择性和耐功率312

第六章 激光光栅312

6-2 调谐激光光栅318

6-3 光栅扩束器和光栅耦合器322

第七章 复制光栅326

7-1 反射式平面光栅的一次法复制326

7-2 复制光栅的常见疵病337

7-3 反射式凹面光栅的复制340

7-4 红外光栅的复制341

7-5 透射光栅的复制342

8-2 光栅波面象差的测量343

第八章 光栅测试技术343

8-1 概述343

8-3 光栅槽形的测量351

8-4 光栅分辨本领的测量355

8-5 光栅罗兰鬼线的测量361

8-6 光栅衍射效率的测量364

8-7 光栅杂散光和散射光的测量370

参考文献372