图书介绍

微小世界 深亚微米结构器件和介观物理2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

微小世界 深亚微米结构器件和介观物理
  • 吴德馨,王守武主编 著
  • 出版社: 长沙:湖南科学技术出版社
  • ISBN:7535721370
  • 出版时间:1998
  • 标注页数:243页
  • 文件大小:8MB
  • 文件页数:272页
  • 主题词:介观物理

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图书目录

1.激动人心的挑战1

1.1紫外光光刻绝处逢生4

1.2同步辐射X射线光刻崭露锋芒24

1.3倍受青睐的扫描电子束光刻34

1.4大显神通的干法刻蚀和干法显影52

1.5人工生长超小结构的妙法65

1.6STM对纳米科技的推动87

2.微小器件风起云涌——新一代电子器件的家族成员102

2.1更上一层楼的短沟体硅MOSFET104

2.2另辟蹊径的短沟SOIMOS115

2.3捷足先登的短栅HFET127

2.4重放异彩的VMFET142

3.介观世界探秘:介观物理和器件164

3.1奇异的电子行为166

3.2独特的光学性质188

3.3理论物理学家们的目光焦点211

3.4诱人的新型量子效应器件216

参考文献239

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