图书介绍
微小世界 深亚微米结构器件和介观物理2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载
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- 吴德馨,王守武主编 著
- 出版社: 长沙:湖南科学技术出版社
- ISBN:7535721370
- 出版时间:1998
- 标注页数:243页
- 文件大小:8MB
- 文件页数:272页
- 主题词:介观物理
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图书目录
1.激动人心的挑战1
1.1紫外光光刻绝处逢生4
1.2同步辐射X射线光刻崭露锋芒24
1.3倍受青睐的扫描电子束光刻34
1.4大显神通的干法刻蚀和干法显影52
1.5人工生长超小结构的妙法65
1.6STM对纳米科技的推动87
2.微小器件风起云涌——新一代电子器件的家族成员102
2.1更上一层楼的短沟体硅MOSFET104
2.2另辟蹊径的短沟SOIMOS115
2.3捷足先登的短栅HFET127
2.4重放异彩的VMFET142
3.介观世界探秘:介观物理和器件164
3.1奇异的电子行为166
3.2独特的光学性质188
3.3理论物理学家们的目光焦点211
3.4诱人的新型量子效应器件216
参考文献239
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