洁净室的检测与运行管理2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

洁净室的检测与运行管理PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 洁净室的检测类别与项目1

1．1洁净室检测的类别1

1．2洁净室的竣工验收2

1．2．1竣工验收的外观检查2

1．2．2竣工验收的调试工作2

1．2．3竣工验收的检测项目3

1．2．4竣工验收所需文件3

1．3洁净室综合性能评价3

1．3．1 ISO-14644所规定的检测项目4

1．3．2 NEBB所规定的检测项目4

1．3．3国内相关标准所规定的测试项目5

1．4洁净室的性能监测6

1．4．1国际标准ISO 14644-2的规定7

1．4．2国家标准GB 50073—2001关于监测的规定7

1．5洁净室测试时所处的状态8

复习思考题10

第2章 空气中悬浮粒子的测试11

2．1测试的准备工作11

2．2采样点的位置及数量11

2．3各采样点的单次采样量12

2．4空气中悬浮粒子浓度的采样及数据整理13

2．4．1空气中悬浮粒子浓度的统计计算原则14

2．4．2一个采样点平均数字浓度（？i）的计算方法14

2．4．3 95％置信上限的计算方法14

2．5洁净度级别的计算例题15

2．5．1例题115

2．5．2例题218

2．6空气中悬浮粒子的一些特殊检测方法20

2．6．1顺序采样法20

2．6．2空气中悬浮超微粒子和宏粒子计数22

附录1 ISO 14644洁净度及洁净区按所定悬浮粒子的洁净度分级23

附录2 ISO 14644洁净度分级的粒子浓度限值图23

附录3 国家标准GB 50073—2001洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级24

复习思考题24

第3章 洁净室、洁净区的气流、压差与检漏测试25

3．1气流测试25

3．1．1单向流洁净室或设施的风速测定25

3．1．2用风罩法测定非单向流洁净室或设施的风量27

3．1．3非单向流洁净室的其他风量测定方法28

3．1．4风速、风量测试评定标准32

3．1．5单向流风速测定例题33

3．2压差测试35

3．3高效过滤器检漏36

3．3．1当高效过滤器安装在顶棚、墙上或设备上时的检漏测试37

3．3．2高效过滤器安装在管道或空气处理机上时过滤器的整体检漏42

3．3．3检漏测试报告43

3．4气流目检43

3．4．1气流目检的方法43

3．4．2气流目检的操作44

3．4．3关于气流流型的测点布置44

3．4．4测试报告45

3．5温度与湿度测试45

3．5．1一般温、湿度测试45

3．5．2综合温、湿度测试46

3．5．3测试报告46

3．6自净性能测试46

3．6．1自净性能或自净时间的定义47

3．6．2用粒子浓度变化率评估自净性能48

3．6．3直接测量自净时间48

3．6．4测试报告49

3．7污染渗漏测试49

3．7．1使用离散粒子计数器测试污染渗漏49

3．7．2使用气溶胶光度计测试污染渗漏49

3．7．3测试报告50

3．8粒子沉积测试50

3．8．1测量采样板上沉积粒子的获取方法50

3．8．2测量采样板上沉积粒子的计数和粒径确定50

3．8．3测量采样板材料与测试仪器51

3．8．4测试报告51

3．9洁净室的噪声、微振与照度的测试52

3．9．1相关的标准与规定52

3．9．2噪声、微振与照度的检测53

3．10静电测试54

3．10．1相关的规范规定54

3．10．2静电测试方法54

复习思考题55

第4章 检测仪器、仪表与方法57

4．1光散射离散粒子计数器57

4．1．1用于现场检测的便携式激光粒子计数器57

4．1．2用于洁净环境实时监控的激光粒子计数器及相关设备62

4．1．3凝聚核粒子计数器66

4．2气流测试仪表67

4．2．1风速测量仪表67

4．2．2压差测定常用仪表73

4．2．3气流目测的仪器77

4．3高效空气过滤器安装后的检漏80

4．3．1检漏测试所用的气溶胶80

4．3．2检漏测试所用的设备81

4．4温、湿度、照度、噪声等参数的测量84

4．4．1温度测量仪表84

4．4．2湿度测量仪表88

4．4．3照度与噪声测试仪表93

4．5静电和离子生成器测试仪表94

4．6 ISO 14644关于洁净设施测试的顺序与仪器96

复习思考题99

第5章 生物污染控制与微生物检测100

5．1微生物污染控制的手段与方法100

5．2生物污染控制原则102

5．2．1微生物危害评价与控制体系的内容102

5．2．2生物污染监测102

5．3生物污染的检测采样103

5．3．1生物污染的检测采样仪器的选择原则103

5．3．2采样计划的制定104

5．4生物污染数据的评价109

5．4．1初始检测阶段对生物污染数据的评估109

5．4．2日常监测阶段所得生物污染数据的估算与评价110

5．4．3沉降测值与浮游测值的关联111

5．5传统的微生物采样计数设备114

5．5．1沉降法采样装置115

5．5．2撞击法空气微生物采样器116

5．5．3碰撞式采样法119

5．5．4过滤法119

5．5．5大容量法120

5．5．6表面微生物的测试方法121

5．6环境微生物的快速测定法121

5．6．1目前使用的几种微生物快速测定法122

复习思考题129

第6章 洁净室性能测试报告的实例131

6．1检测报告的基本内容131

6．2检测报告的目录及实例131

第7章 洁净室污染控制分析与策略154

7．1查清洁净室污染源与传播途径154

7．1．1污染源154

7．1．2污染传播的途径156

7．1．3污染风险分析和控制措施图156

7．2危害性分析157

7．3制定危害控制与监测方法159

7．3．1制定危害控制的方法159

7．3．2监测采样与控制方法162

7．3．3制定报警值和行动值163

复习思考题163

第8章 洁净室的制度与纪律164

8．1严格控制进入洁净室的人员164

8．1．1对洁净室工作人员的基本要求164

8．1．2对洁净室维修人员和服务人员的基本要求166

8．2洁净室内需遵守的纪律167

8．2．1防止沿通道逆向气流增加污染167

8．2．2防止工作人员在洁净室内的不当动作增加污染168

8．2．3防止洁净室内材料使用不当而增加污染170

8．3洁净室工作人员的教育培训171

8．3．1参与培训的人员171

8．3．2培训课程的内容172

8．3．3对洁净室人员行为的监控175

8．4洁净室工作制度与纪律示例175

天津某知名合资电子企业洁净室工作守则（试用版）175

复习思考题177

第9章 人员进出洁净室与洁净服装178

9．1人员进入洁净室的清洁流程178

9．1．1到达洁净室前178

9．1．2更换洁净服178

9．1．3离开洁净室的更衣程序181

9．2洁净服182

9．2．1人员散发的污染物来源与传播途径182

9．2．2洁净服的设计与制作190

9．2．3洁净室服装的处理与更换196

9．2．4洁净服测试198

9．3洁净室用面罩、头盔、手套201

9．3．1洁净面罩与头盔201

9．3．2洁净室手套203

9．4动力排风式头盔207

复习思考题208

第10章 进入洁净室的材料、设备和机器209

10．1洁净室用材的选择209

10．2外部供应的物品及其包装210

10．3通过气闸室传递物品和小件设备211

10．4洁净室固定设备的进入、安装与维修213

复习思考题217

第11章 洁净室的日常清洁工作218

11．1洁净室日常清洁的必要性218

11．2表面物理清洁方法219

11．3洁净室用清洁用具及操作方法220

11．4洁净室清洁用液体224

11．5清洁表面和清洁级别的分类226

11．6洁净室日常清洁方法229

11．7清洁工作的计划与安排232

复习思考题236

附录 ISO 14644系列、ISO 14698系列标准术语和定义汇编237

附录一 按ISO 14644， ISO 14698系列标准的序号，汇集各标准的“术语与定义”238

附录二 ISO 14644， ISO 14698系列标准按汉语拼音排序的“术语与定义”253

附录三 ISO 14644， ISO 14698系列标准按英文字母排序的“术语与定义”265

参考文献277