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第1章　绪论1

1.1　准分子和准分子激光1

1.1.1 准分子1

1.1.2　准分子激光1

1.2　准分子激光的发现和发展2

1.2.1 准分子激光的发现2

1.2.2 放电泵浦准分子激光器的发展3

1.2.3 电子束泵浦准分子激光器的发展5

1.3　准分子能级结构和光谱特性9

参考文献11

第2章　放电泵浦准分子激光器13

2.1　气体放电物理基础13

2.1.1 气体放电的形成及特点13

2.1.2 气体放电的基本理论16

2.2　放电泵浦源关键技术19

2.2.1 高气压下均匀稳定的辉光放电技术19

2.2.2 阻抗匹配技术23

2.3　准分子激光注入锁定放大技术24

2.3.1　注入锁定理论25

2.3.2　注入锁定技术及应用28

2.4　几种典型的放电泵浦准分子激光器31

2.4.1 紫外预电离准分子激光器31

2.4.2　X射线预电离准分子激光器33

2.4.3 电子束控制放电准分子激光器34

2.5　放电泵浦准分子激光动力学35

2.5.1 等离子体动力学35

2.5.2 化学／激光动力学37

参考文献40

第3章　电子束泵浦准分子激光器42

3.1　强流相对论电子束加速器42

3.1.1　Marx发生器型电子束加速器43

3.1.2 直线变压器型电子束加速器50

3.2　大面积均匀电子束的产生和传输52

3.2.1 强流相对论电子束的产生52

3.2.2 大面积均匀电子束的产生条件54

3.2.3 电子束的传输——膨胀、箍缩、旋转和剪切55

3.3　电子束在气体介质中的能量沉积58

3.3.1 电子束在气体中能量沉积的基本理论58

3.3.2 电子束能量沉积测量方法60

3.4　横向泵浦和径向泵浦技术61

3.4.1 横向电子束泵浦准分子激光器62

3.4.2 径向电子束泵浦准分子激光器64

3.5　重复频率电子束泵浦技术66

3.5.1 重频脉冲功率源67

3.5.2　高效率、长寿命真空二极管69

3.5.3　气体循环与冷却73

3.6　电子束泵浦准分子激光动力学74

3.6.1 激发态KrF＊准分子的形成75

3.6.2 激发态KrF＊准分子的猝灭76

3.6.3 受激辐射的吸收77

3.6.4　反应速率方程77

参考文献79

第4章　光泵浦准分子激光器81

4.1　概述81

4.2　XeF分子能级及荧光光谱82

4.3　光泵浦源技术84

4.3.1 光泵浦源发展概述84

4.3.2　表面放电的类型和基本原理87

4.3.3　表面放电机理89

4.3.4　泵浦源结构及放电特性94

4.3.5 光泵浦源辐射能力98

4.4　XeF（C—A）激光特性实验研究100

4.4.1　XeF（C—A）激光器概述100

4.4.2　XeF（C—A）激光输出特性101

4.4.3　双向光泵浦技术105

4.4.4　重复频率技术106

4.4.5 重复频率光泵浦大功率XeF（C—A）蓝绿激光器107

4.5　光泵浦XeF（C—A）准分子激光动力学108

4.5.1 辐射输运109

4.5.2 化学／激光反应动力学111

参考文献114

第5章　高功率准分子激光系统116

5.1　高功率准分子激光MOPA系统116

5.1.1 MOPA系统的基本构成116

5.1.2 MOPA系统放大器的稳态理论119

5.2　前端技术127

5.2.1　脉冲压缩技术127

5.2.2 改善光束质量技术130

5.2.3 空间整形技术132

5.3　光学角多路放大技术133

5.3.1 光学角多路放大系统的构成133

5.3.2　放大器134

5.3.3　应用举例136

5.4　准分子激光光束平滑技术139

5.4.1 光束平滑及均匀辐照基本原理139

5.4.2　光束平滑主要方法140

5.5　非线性光学技术149

5.5.1 后向喇曼脉冲压缩技术149

5.5.2 前向多程喇曼压缩技术151

5.5.3 喇曼组束净化技术155

参考文献158

第6章　高亮度准分子激光系统161

6.1　概述161

6.2　紫外超短脉冲激光的产生162

6.3　准分子激光超短脉冲放大技术165

6.3.1 离轴放大技术165

6.3.2　相干组束技术168

6.3.3　紫外超短脉冲激光的聚焦技术169

6.3.4 啁啾脉冲放大（CPA）技术170

6.4　KrF激光高亮度源技术173

参考文献175

第7章　准分子激光在燃烧场诊断中的应用176

7.1　概述176

7.2　激光诱导荧光法177

7.2.1 激光诱导荧光法基本原理177

7.2.2　LIF双线法测温原理179

7.2.3　实验系统180

7.2.4 火焰OH荧光谱及温度测量182

7.3　自发喇曼散射法184

7.3.1 自发喇曼散射基本原理184

7.3.2　实验系统185

7.3.3 主要组分及其浓度测量186

7.3.4　温度测量187

7.4　瑞利散射法189

7.4.1 瑞利散射法测量燃烧场温度189

7.4.2　分子过滤瑞利散射法测量燃烧场温度和密度191

7.5　相干反斯托克斯喇曼散射法196

7.5.1　CARS基本原理197

7.5.2　CARS测量系统199

7.5.3　CARS测温201

参考文献203

第8章　准分子激光淀积类金刚石薄膜206

8.1　准分子激光淀积DLC薄膜实验装置206

8.2　准分子激光淀积DLC薄膜机理207

8.2.1 脉冲激光烧蚀淀积DLC薄膜主要物理过程207

8.2.2　纳秒激光等离子体羽及其淀积DLC膜特性209

8.2.3 飞秒激光等离子体羽及其淀积DLC膜特性211

8.2.4 改善DLC薄膜性能探索研究213

8.3　DLC薄膜结构及光学性能215

8.4　大面积宽波段DLC薄膜研制218

8.4.1 提高DLC薄膜结合力技术218

8.4.2 提高大尺寸DLC薄膜均匀性技术220

参考文献222

第9章　准分子激光在特种加工中的应用223

9.1　激光的吸收与热扩散223

9.2　准分子激光微细加工225

9.3　准分子激光光刻227

9.4　准分子激光打标229

9.5　准分子激光表面清除处理231

9.6　准分子激光眼科手术232

参考文献233