图书介绍

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光学薄膜技术
  • 卢进军,刘卫国编著(西安工业大学光电学院) 著
  • 出版社: 西安:西北工业大学出版社
  • ISBN:756122009X
  • 出版时间:2005
  • 标注页数:194页
  • 文件大小:13MB
  • 文件页数:203页
  • 主题词:光学薄膜-教材

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图书目录

第一章 薄膜光学特性计算基础1

1.1单一界面的反射率和透射率2

1.2单层介质膜的反射率5

1.3多层介质膜的反射率和透射率9

1.4金属薄膜的光学特性11

1.5光学零件的反射率和透射率12

第二章 介质膜系及其应用16

2.1减反射膜16

2.2高反射膜24

2.3 中性分束膜30

2.4截止滤光片33

2.5带通滤光片58

2.6偏振分束膜83

2.7消偏振膜系88

3.1光学真空镀膜机109

第三章 薄膜制造技术109

3.2真空与物理汽相沉积111

3.3真空获得与检测112

3.4热蒸发120

3.5溅射123

3.6离子镀130

3.7离子辅助镀134

4.1光学薄膜器件的质量要素137

第四章 光学薄膜制造工艺137

4.2影响膜层质量的工艺要素140

4.3获得精确厚度的方法148

4.4获得均匀膜层的方法157

第五章 薄膜材料及其性质161

5.1薄膜的微观结构与性质161

5.2常用光学薄膜材料181

附录常见薄膜材料参数187

参考文献194

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