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分子束外延简介2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

分子束外延简介
  • （日）榷田俊一著 著
  • 出版社： 半导体工艺设备编辑部
  • ISBN：
  • 出版时间：1978
  • 标注页数：104页
  • 文件大小：1MB
  • 文件页数：108页
  • 主题词：

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图书目录

第一章 分子束外延概述1

1.1 什么是外延1

1.2 分子束外延4

第二章 超高真空和分子束9

2.1 超高真空的必要性9

2.2 分子束的产生12

2.2.1 分子束的空间分布17

2.2.2 喷射炉立式配置和水平配置19

2.2.3 喷射炉的结构例20

2.3 分子束的检测21

2.3.1 离子规21

2.3.2 质谐仪22

2.3.3 其他检测方法25

第三章 分子束与固体表面的相互作用及生长过程27

3.1 吸附与脱附27

3.1.1 附着系数29

3.2 固体表面的运动学36

3.3 分子束外延的生长例子41

第四章 生长层的评价48

4.1 用电子束进行评价48

4.1.1 RHEED49

4.1.2 LEED，饿歇能谱，ELS63

4.2 电气的评价64

4.3 光学的评价67

4.3.1 光致发光67

4.3.2 利用X射线评价71

第五章 分子束外延的应用78

5.1 电子器件78

5.2 光电器件81

5.2.1 发光器件84

5.2.2 光波导87

5.3 多层周期结构及其应用88

结束语97

参考文献99

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