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第1章 幸福生活从美丽与微观开始2

001展现缤纷色彩的颜料 用微小粉末描绘美丽世界2

002复制美丽——相片 彩色相片与数码相机4

003薄膜技术使机器人不断进化 利用薄膜材料与计算机进行精密制备6

004创造五种感官 视觉、听觉、嗅觉、味觉与触觉的创造8

005制造人工智能10

006我们身边的电子产品都在使用薄膜12

007利用不分解的压延技术，可以薄到什么程度14

008制造薄膜与制作精细图案16

COLUMN真空的含义18

第2章 制备薄膜的重要环境条件——真空20

009真空——压强低于大气压的空间状态20

010 真空的单位与压强的单位:帕斯卡（Pa）22

011 抽出和吸附——真空泵的分类24

012 真空的分析和测量 真空计26

013 真空装置的制造方法28

COLUMN 质量瞬移30

第3章 薄膜的制备32

014 薄膜的形成——先气化，再固化沉积32

015 四种气化源34

016 单层生长与形核长大 薄膜的生长①36

017薄膜内部缺陷 薄膜的生长②38

018仅有薄膜还不够 薄膜与基板的结合40

019 目标:单晶薄膜42

COLUMN出身和教育同样重要44

第4章 薄膜特有的性质46

020薄膜的密度和厚度会随时间减小46

021薄膜电阻的变化比体材料大48

022热稳定性降低 通过时效处理加以克服50

COLUMN薄膜和基板的连接52

第5章 增强基板与薄膜结合的技术54

023制膜的基础平整的基板54

024前期处理:使基板表面完全裸露56

025前期处理的最后工序:干燥58

026制备附着强度更强的薄膜60

027改变气化源、增加附着强度62

028薄膜与基板的相合性更为重要64

029着陆点:险峻的山地66

030得到希望的薄膜组成68

031制造用于大面积集成电路的非晶薄膜70

032电迁移断线及其解决方法72

COLUMN 太阳之子——等离子体74

第6章 等离子体在薄膜制备中的重要性76

033等离子体的神奇之处及其应用76

034通过放电获得等离子体78

035低气压（良好真空）下的磁控放电80

036产生薄膜用等离子体的五种方法82

037薄膜制备的难题——尘埃84

COLUMN望远镜和照相机视场变亮的奥秘86

第7章 从古代沿用至今的蒸镀法88

038蒸发源88

039加工等厚膜的方法90

040离子镀的使用92

041进一步发挥离子的作用94

042防止蒸镀材料与薄膜间的成分变化 激光沉积法96

043制作透明导电的薄膜 透明导电薄膜的蒸镀方法98

COLUMN活学活用100

第8章 大面积气化源、适于批量生产的溅射法102

044溅射率是由离子能量和薄膜材料的种类决定的102

045溅射产生的原子遵循余弦法则且速度非常快104

046溅射的主要方式106

047以低电压、定压（高真空）为目标的磁控溅射108

048支撑半导体lC高集成度发展的铝合金溅射110

049利用反应溅射制作高性能电阻膜112

050用溅射法制作氧化物高温超导膜114

051低电压下制造透明导电膜（氧化物）lTO116

052薄膜加工的过渡——从平面成膜到微孔成膜118

053利用离子进行超微细孔的填埋120

054向高真空、无？气溅射的过渡122

COLUMN神奇的过程——从气体到薄膜124

第9章 由气体制作薄膜的气相沉积法126

055气体向固体的转变:薄膜的气相沉积126

056很多的CVD方法已被实用化128

057CVD法制备lC中至关重要的硅系薄膜130

058高清彩色电视用的硅薄膜132

059高诱电率薄膜和低诱电率薄膜的制作134

060用气相沉积法制备金属导体薄膜136

061表面改性法制备氧化薄膜、氮化薄膜138

COLUMN从水（液体）中提取薄膜（固体）140

第10章 在液体中制作镀膜142

062镀膜技术的发展142

063液相镀膜和真空薄膜中的核生长144

064 精密镀膜在电气领域的应用146

COLUMN用世界上最小的刀进行切削加工148

第11章 将薄膜加工成电路、晶体管等的蚀刻技术150

065 05 蚀刻法制备图样:在正确的位置加工正确的形状150

066用气体离子进行蚀刻152

067 最关键的一步——等离子体的制备154

068反应气体是重要的156

069 决定蚀刻的条件158

070利用极细离子束进行故障修理160

071利用CMP进行平坦化处理162

072无CMP的平坦化技术164

COLUMN向伟大的梦想前进!166

第12章 薄膜发展的无限可能性168

073操控原子，制造未来仪器168

074薄膜——带动世界通信网络发展170

075用微动同步器挽救生命172

076生物计算机的使用174

参考文献177

译后记180