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第1章 精密、超精密制造技术概论1

1.1 精密、超精密制造技术概念1

1.2 精密、超精密制造技术对航空制造业的重要作用2

1.3 精密、超精密制造技术分类4

1.3.1 航空精密、超精密制造技术体系4

1.3.2 航空精密、超精密加工技术分类4

1.4 航空精密、超精密制造技术的特点6

1.5 精密、超精密制造技术的发展现状7

1.6 精密、超精密制造技术在航空制造业中的应用8

1.7 航空精密、超精密制造技术的发展趋势10

第2章 航空精密加工技术12

2.1 概述12

2.2 航空精密加工技术的特点12

2.3 航空精密加工技术的方法14

2.3.1 分类14

2.3.2 精密加工基础技术方法15

2.4 航空精密加工技术典型应用28

2.4.1 精密偶件类零件制造技术28

2.4.2 精密薄壁结构零件的制造技术30

2.4.3 壳体类零件制造技术32

2.4.4 难加工材料精密制造技术33

第3章 航空超精密加工技术36

3.1 概述36

3.1.1 发展超精密加工技术的重要性36

3.1.2 超精密加工技术的发展现状38

3.1.3 超精密加工技术的发展39

3.1.4 超精密加工技术的分类40

3.2 超精密加工工艺方法42

3.2.1 超精密切削加工技术42

3.2.2 超精密磨削和研磨加工技术51

3.2.3 超精密复合加工技术61

3.3 航空超精密加工技术的典型应用65

3.4 超精密加工的支撑环境74

3.4.1 空气环境和热环境75

3.4.2 洁净室77

3.4.3 分层次的局部环境80

3.4.4 振动环境81

3.4.5 隔振器的隔振原理83

3.4.6 噪声环境85

3.4.7 其他环境87

3.4.8 超精密加工的环境设施88

第4章 航空微系统制造技术90

4.1 概述90

4.1.1 惯导器件微小零件90

4.1.2 微光学元件及微小结构91

4.1.3 伺服阀微小结构91

4.1.4 微组装92

4.1.5 微小动力装置92

4.1.6 微光电子器件92

4.1.7 航空微系统92

4.2 微系统制造技术的特点93

4.2.1 超微细加工是制造技术的极限93

4.2.2 精密机械、仪器、仪表的需求催生了微细加工技术93

4.2.3 电子设备微型化和集成化的需求促进了微细加工技术的发展93

4.2.4 大规模集成电路的制造是微细加工技术的主要应用领域94

4.2.5 微细加工的特点94

4.2.6 微细加工与其他技术的关系95

4.3 微系统制造技术的方法96

4.3.1 微细加工的基础技术96

4.3.2 微细切削加工技术98

4.3.3 微细特种加工技术100

4.4 航空微系统制造技术107

4.4.1 微电子器件制造技术107

4.4.2 微机电系统制造技术107

4.4.3 微光电子器件制造技术108

4.4.4 微细切削加工技术108

4.5 航空微系统制造关键技术108

4.5.1 微电子器件关键制造技术108

4.5.2 微机电系统关键制造技术109

4.5.3 微光电子器件关键制造技术109

4.5.4 微三维零件微细加工技术110

4.6 航空纳米技术发展与应用110

4.6.1 纳米技术的特点110

4.6.2 发展纳米技术的重要性110

4.6.3 纳米技术的主要内容111

4.6.4 纳米级测量技术111

4.6.5 纳米级表层物理力学性能的检测114

4.6.6 显微力学探针检测系统的应用114

4.6.7 纳米级加工技术115

4.6.8 纳米级器件、微型机械和微型机电系统119

第5章 精密坐标测量技术122

5.1 概述122

5.2 精密坐标测量技术的特点124

5.2.1 坐标测量原理124

5.2.2 三坐标测量机的组成126

5.2.3 坐标测量机的类型131

5.3 精密测量技术的方法134

5.3.1 产品检验与坐标测量机134

5.3.2 坐标测量机检验的方案135

5.3.3 三坐标测量机在集成制造系统中的应用137

5.4 三坐标测量机的发展趋势139

5.4.1 提高测量精度139

5.4.2 提高测量效率140

5.4.3 发展探测技术，完善测量机配置140

5.4.4 采用新材料，运用新技术141

5.4.5 发展软件技术，发展智能测量机142

5.4.6 控制系统更开放144

5.4.7 进入制造系统，成为制造系统组成部分145

5.4.8 发展非正交坐标系测量系统145

5.4.9 加强环境问题的研究146

5.4.10 加强量值传递、误差检定与补偿的研究147

第6章 精密、超精密加工设备149

6.1 概述149

6.2 精密、超精密加工设备设计的基本原则149

6.3 精密、超精密加工设备关键模块150

6.3.1 主轴回转系统150

6.3.2 直线导轨152

6.3.3 机床传动系统153

6.3.4 位置测量及反馈系统154

6.3.5 控制系统155

6.3.6 在机在位测量系统156

6.3.7 床身156

6.3.8 环境控制157

6.4 典型超精密加工设备157

6.4.1 超精密镗削加工设备157

6.4.2 超精密车削加工设备158

6.4.3 金刚石刀具研磨设备159

6.4.4 非球面曲面多轴超精密加工设备159

6.4.5 圆弧刃金刚石刀具研磨设备160

6.4.6 超精密磨削加工设备162

6.4.7 超精密研磨抛光设备163

6.5 典型航空专用精密非标加工设备163

6.5.1 立式多功能数控磨床163

6.5.2 抛物线曲面精密修模设备164

6.5.3 100t热压机165

6.5.4 滚动接触疲劳实验机165

6.6 精密、超精密元部件167

6.6.1 导电滑环167

6.6.2 容栅位移传感器171

6.6.3 圆感应同步器173

6.6.4 平面气浮轴承176

6.6.5 液体静压导轨与轴承178

6.6.6 液压伺服阀180

第7章 惯导测试与运动仿真技术及设备182

7.1 概述182

7.2 惯性导航测试基础技术184

7.2.1 惯性导航的概念184

7.2.2 惯性导航测试方法186

7.2.3 陀螺仪试验189

7.2.4 加速度计试验195

7.2.5 惯性导航系统的测试195

7.3 惯导测试和运动仿真设备197

7.3.1 基本概念197

7.3.2 国内外技术发展198

7.3.3 转台主要技术特点200

7.3.4 转台的应用与发展201

7.3.5 转台的技术发展趋势203

参考文献204