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第一章　引论1

1.1　表征真空状态的物理量1

1.2　压强单位3

1.3　真空测量的特点5

1.4　真空计的分类9

第二章　液体真空计11

2.1　液柱真空计11

2.1.1　工作原理11

2.1.2　基准液柱真空计13

2.1.3　液柱真空计的误差17

2.2　压缩真空计19

2.2.1　工作原理19

2.2.2　压缩真空计的压强刻度21

2.2.3　压缩真空计的刻度修正22

2.2.4　汞蒸气流效应24

2.2.5　压缩真空计的若干形式27

2.2.6　压缩真空计的误差30

参考文献32

第三章　变形真空计34

3.1　弹簧管和膜盒真空计34

3.2　薄膜电容真空计37

3.2.1　工作原理37

3.2.2　温度影响42

参考文献47

第四章　粘滞真空计49

4.1　概述49

4.2　转子真空计结构和原理50

4.3　转子真空计压强方程52

4.4　转速衰减与时间的关系55

4.5　转子真空计的测量范围59

4.6　转子真空计的误差60

4.7　转子真空计的使用62

4.8　振膜真空计63

参考文献65

第五章　热传导真空计66

5.1　概述66

5.2　压强方程67

5.3 灵敏度和测量范围70

5.3.1　灵敏度70

5.3.2　测量下限71

5.3.3　测量上限72

5.4　不同气体的换算因子74

5.5　电阻真空计77

5.5.1　电阻真空计的工作模式77

5.5.2　环境温度的影响及其补偿80

5.5.3　加热功率变化的影响81

5.5.4 热丝材料82

5.6　其它电阻真空计83

5.6.1　半导体热敏电阻真空计83

5.6.2　单晶硅薄膜电阻真空计85

5.6.3　氮化钽薄膜电阻真空计87

5.7　热偶真空计88

5.7.1　热偶真空计的刻度曲线88

5.7.2　热丝温度89

5.7.3　薄膜型热偶真空计91

5.8　对流真空计92

参考文献94

第六章　热阴极电离真空计96

6.1　概述96

6.2　特征方程98

6.3　灵敏度计算102

6.3.1 电离效率函数102

6.3.2　灵敏度解析式106

6.3.3　电子的平均飞行次数109

6.3.4　温度换算系数b的确定111

6.4 灵敏度与电极参量的关系115

6.4.1　与阴极参量的关系115

6.4.2　与加速极、收集极尺寸的关系117

6.4.3　与电参量的关系120

6.5　测量上限及其拓宽122

6.5.1 上限的限制因素和拓宽条件122

6.5.2　高压强电离计124

6.6　测量下限127

6.6.1　光电常数和x射线限127

6.6.2　几何因子G的导出129

6.7　B-A计的结构特点132

6.8　B-A计的极限灵敏度135

6.9　B-A计中的电子运动136

6.10　B-A计中的离子收集效率144

6.11　B-A计中的气体温度152

6.12　B-A计的测量范围155

6.12.1　测量上限155

6.12.2　测量下限156

6.13　B-A计测量下限拓宽159

6.13.1　减小几何因子的限制159

6.13.2　调制技术160

6.13.3　反向x射线光电流效应163

6.14　其它热阴极超高真空计167

6.14.1　抑制型电离计167

6.14.2　引出型电离计168

6.14.3　偏转型电离计171

6.15 电离计的阴极173

6.15.1　阴极材料173

6.15.2　炽热钨阴极与气体的作用175

6.15.3　钨阴极的寿命176

6.16　不同气体的相对灵敏度178

6.17 电离计中的高频振荡180

参考文献183

第七章　冷阴极电离真空计187

7.1　概述187

7.2　潘宁计中的电子运动189

7.2.1　电位分布189

7.2.2　电子运动轨迹191

7.3　潘宁计的着火条件198

7.3.1　着火的必要条件198

7.3.2　临界磁场和最小着火电压199

7.4　潘宁计中空间电荷影响202

7.5　潘宁计的测量范围205

7.6　反磁控计的结构特点208

7.7　反磁控计的着火理论209

7.7.1　电子运动的定性描述209

7.7.2　第一汤生系数的导出211

7.7.3　不均匀电场中的破裂方程215

7.7.4　阴极的二次发射过程218

7.7.5　着火特性的实验曲线220

7.8　点火极的工作机理221

7.9　磁场的理想配置223

7.10　反磁控计的工作特性224

7.11　微型反磁控计227

7.12　磁控管式冷阴极计228

7.12.1　结构和特性228

7.12.2　二极型正磁控计230

参考文献231

第八章　放射源电离真空计232

8.1　概述232

8.2　放射源计的灵敏度233

8.2.1　灵敏度解析式233

8.2.2　灵敏度和计管几何参量的关系237

8.2.3 灵敏度和放射源参量的关系238

8.2.4　灵敏度计算值和实验值比较239

8.3　刻度曲线和测量范围240

8.3.1　刻度曲线与气体种类的关系240

8.3.2　测量下限242

8.3.3　测量上限243

8.4　分布式钚源电离计246

8.4.1　结构特点246

8.4.2　灵敏度和测量下限247

8.5　低下限放射源电离计249

8.6　β粒子源电离计250

参考文献252

第九章　其它真空计和密封器件中的压强测量254

9.1　热辐射真空计254

9.1.1　工作原理254

9.1.2　结构举例257

9.2　热阴极磁控电离计258

9.2.1　结构特点和原理258

9.2.2　运用条件和特性261

9.3　密封器件的压强测量263

9.3.1　一般原理264

9.3.2　真空开关管内的压强监测266

参考文献269

第十章　真空计的刻度和校准270

10.1　静态膨胀法270

10.2　动态流量法275

10.2.1　动态流量法原理275

10.2.2　动态流量法校准装置举例279

10.2.3　气流量的测量281

10.2.4　动态流量法的误差286

10.3　直接比较法287

参考文献290