半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

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第1章 仿真基础1

1.1 TCAD1

1.1.1 数值计算1

1.1.2 基于物理的计算2

1.2 Silvaco TCAD3

1.2.1 主要组件4

1.2.2 目录结构6

1.2.3 文件类型7

1.3 Deckbuild8

1.3.1 Deckbuild Preferences9

1.3.2 语法格式13

1.3.3 go14

1.3.4 set14

1.3.5 Tonyplot15

1.3.6 extract25

1.4 学习方法32

思考题与习题33

第2章 二维工艺仿真34

2.1 ATHENA概述34

2.2 工艺仿真流程39

2.2.1 定义网格39

2.2.2 衬底初始化43

2.2.3 工艺步骤47

2.2.4 提取特性47

2.2.5 结构操作47

2.2.6 Tonyplot显示48

2.3 单项工艺48

2.3.1 离子注入49

2.3.2 扩散56

2.3.3 淀积59

2.3.4 刻蚀64

2.3.5 外延70

2.3.6 抛光71

2.3.7 光刻74

2.3.8 硅化物87

2.3.9 电极88

2.3.10 帮助89

2.4 集成工艺92

2.5 优化95

2.5.1 优化设置95

2.5.2 待优化参数96

2.5.3 优化目标96

2.5.4 优化结果97

思考题与习题98

第3章 二维器件仿真99

3.1 ATLAS概述99

3.2 器件仿真流程103

3.3 定义结构103

3.3.1 ATLAS生成结构104

3.3.2 DevEdit生成结构111

3.3.3 DevEdit编辑已有结构117

3.4 材料参数及模型120

3.4.1 接触特性120

3.4.2 材料特性122

3.4.3 界面特性125

3.4.4 物理模型125

3.5 数值计算方法127

3.6 获取器件特性131

3.6.1 直流特性132

3.6.2 交流小信号特性137

3.6.3 瞬态特性138

3.6.4 高级特性140

3.7 圆柱对称结构159

3.8 器件仿真结果分析161

3.8.1 实时输出161

3.8.2 日志文件166

3.8.3 Deckbuild提取167

3.8.4 Tonyplot显示167

3.8.5 output和probe167

思考题与习题176

第4章 器件-电路混合仿真177

4.1 MixedMode概述177

4.2 电路仿真流程179

4.3 MixedMode的语法179

4.3.1 网表状态179

4.3.2 控制和电路分析状态181

4.3.3 瞬态参数185

4.4 电路仿真示例188

4.4.1 FRD正向恢复仿真188

4.4.2 FRD反向恢复仿真191

4.4.3 PIN二极管的光响应仿真194

4.5 电路仿真结果分析197

4.5.1 结果输出形式197

4.5.2 结果分析199

思考题与习题200

第5章 高级特性201

5.1 C注释器201

5.2 自定义材料203

5.2.1 材料类型203

5.2.2 自定义材料204

5.3 工艺参数校准205

5.4 DBinternal208

5.4.1 Template文件208

5.4.2 Experiment文件209

5.4.3 DBinternal命令211

5.5 VWF212

5.5.1 DOE213

5.5.2 优化221

5.6 三维仿真224

5.6.1 ATLAS3D224

5.6.2 Tonyplot3D227

5.6.3 VictoryCell229

思考题与习题235

参考文献236